1、
干式真空泵的工作壓力應(yīng)滿足真空設(shè)備的極限真空和工作壓力要求。例如，真空涂層需要1×10-5mmHg的真空，并且所選
干式真空泵的真空必須至少為5×10-6mmHg。干式真空泵的真空通常選擇為比真空設(shè)備的真空高一半數(shù)量級。
2、正確選擇
真空泵的工作點(diǎn)。每個泵都有一定的工作壓力范圍，例如，擴(kuò)散泵為10-3~10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內(nèi)，泵的泵送速度隨壓力而變化，其穩(wěn)定的工作壓力范圍為5×10。 -4?5×10-6mmHg。因此，泵的工作點(diǎn)應(yīng)在此范圍內(nèi)選擇，不應(yīng)在10-8mmHg下長時(shí)間工作。另一個例子是鈦升華泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作壓力應(yīng)小于1×10-5mmHg。
3、
真空泵應(yīng)能夠在其工作壓力下去除真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體。
4、正確組合了
真空泵。由于真空泵具有選擇性泵送，有時(shí)泵不能滿足泵送要求，并且需要將多個泵組合以相互補(bǔ)充以滿足泵送要求。例如，鈦升華泵對氫氣具有高抽速，但不能泵送，并且三極濺射離子泵（或雙極不對稱陰極濺射離子泵）對氬氣具有一定的抽速。組合時(shí)，真空裝置將具有更好的真空。另外，有些
真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空；一些真空泵出口壓力低于大氣壓力，需要前級泵，因此需要將泵組合在一起。
