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09
2020
-
05
螺桿真空泵|干式螺桿真空泵用中避免泵內出現細顆粒物的方式
干式螺桿真空泵、干泵、磁力泵、爪泵現階段運用愈來愈普遍，尤其是在半導體材料、化工廠等一些工作狀況將會較為極端的運用制造行業里。在干式螺桿真空泵運用中避免泵內出現細顆粒物的方式
清理、經久耐用、低噪這些全是干式真空泵的好用標識。但在具體的干式真空泵運用中，螺桿真空泵也分觸碰型和非觸碰型。因而在解決一些含細顆粒物汽體全過程中，并并不一定的干式真空泵都如螺桿真空泵、羅茨真空泵等非觸碰型泵種一樣對顆粒物汽體有優良耐受力，只是必須根據過濾器設備來給予處理。除此之外即便是對顆粒物氣體有優良耐受力的非接觸測量干式真空泵，大家為避免出現意外，也必須盡量減少物質在機械泵泵腔內因為化學變化或汽體干固變向產生細顆粒物。
1、適度提升泵溫。化學物質的升化、凝結是工作壓力與溫度的涵數，隨化學物質不一樣都有轉變。因而提升泵內溫度能夠防止一些物質在泵內縮小全過程中產生氣固變向而產生細顆粒物。如Al在離子注入全過程中生產制造的氯化鋁，在相匹配工作壓力下，其在80℃便會剛開始汽化，因而在將泵內溫度維持在80℃就可合理防止氯化鋁的干固堆積。
2、減少會反映汽體的濃度值。單位時間內汽體反映轉化成顆粒物總數與汽體濃度值有關，因此在干式真空泵提取這類汽體的加工工藝中能夠根據充進稀有氣體，降低反映汽體濃度值來減少細顆粒物的產生。這一方式也會用以泵內溫度制冷，避免物質溶解、匯聚產生腐蝕化學物質等，還可以避免物質做到起火極限等將會，如CVD加工工藝中將會的發生爆炸。
3、提升抽真空安全通道中的氣旋速率。為避免處在飄浮情況的固態細顆粒物堆積，使汽體的流動性速率超過細顆粒物堆積的臨界值速率，就可確保細顆粒物隨氣流輸送排出來，避免堆積。實際的方式與第二點一樣，不在危害機械泵的極限工作壓力的前提條件下，便是充進適當汽體。
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